序号

采购项目

名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

预计采购时间

（填写到月）

备注

1

团簇式真空热蒸发镀膜系统

团簇式真空镀膜系统是在高真空密闭腔室内，利用热蒸发原理将束源内的材料气化沉积到基材表面，形成均匀且致密的薄膜。该系统可以同时或连续蒸镀不同薄膜材料，能够精确控制、调节薄膜的厚度和组成。适用于各类高性能半导体光电器件、传感器及其他微纳结构的研究和制备。采购标的数量：1套；质保期要求3年，包含1次免费移机服务。维保期间对任何仪器故障提供4小时电话响应，48小时内免费上门服务。

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2024年12月